デバイス帯電系ESD試験法比較(CDM法・小容量コンデンサー放電法)

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タイトル別名
  • The Comparison with CDM Test Methods (CDM Method and SCV Method)

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説明

デバイス帯電系ESD試験において試験法の違い(CDM法と小容量コンデンサー放電法)および装置の方式の違い(放電スイッチ方式・ソケット使用の有無)に着眼し、放電波形・破壊耐量・故障モードの比較検討を実施した。その結果、以下のことが明らかとなった。1)試験法・装置の方式によって放電波形は異なるが、故障モードは変わらない。2)ゲート酸化膜破壊は試験法・装置の方式による破壊耐量差はほとんどない。3)小容量コンデンサー放電法はCDM法の代用試験として十分適用が可能である。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1570572702491112448
  • NII論文ID
    110003301909
  • NII書誌ID
    AN10013243
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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