著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
浅見 直央 and 藤岡 洋一 and 島田 浩利 and 米井 健治,有機化珪素化合物(HMDS)を用いたSi基板上への3C-SiC薄膜の成長及び評価,"電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集 = Proceeding of Annual Conference of Fundamentals and Materials Society, IEE Japan",,,1999-09-08,1999,,564,https://cir.nii.ac.jp/crid/1570854175296217088,