著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
明瀬 克則 and 遠藤 敏明 and 福田 永 and 野村 滋 and 葛西 浩孝,シリコンウェハの直接貼り合わせ接合,"電子情報通信学会技術研究報告. CPM, 電子部品・材料",,一般社団法人電子情報通信学会,1995-08-04,95,204,1-6,https://cir.nii.ac.jp/crid/1570854177375906560,