著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
垣内 弘章 and 芳井 熊安 and 森 勇藏 and 安武 潔 and 竹内 昭博 and 安見 正博,高周波スパッタ蒸着法による多結晶Si薄膜の低温成長に関する研究(第4報) -結晶粒の大粒径化に関する検討-,精密工学会大会学術講演会講演論文集,,,1996-03-01,1996,1,361-362,https://cir.nii.ac.jp/crid/1571417124029473536,