著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 寺田 知之 and 桜井 史敏 and 太田 平雄 and 宮川 久行 and 木村 光照,pnダイオード温度センサのMEMS型真空センサへの応用,"電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会",,,2005-06-22,2005,1,7-10,https://cir.nii.ac.jp/crid/1571980075166273280,