著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
亀井 竜造 and 右田 達夫 and 三宅 慎也 and 鈴木 昌裕 and 田中 武 and 川畑 敬志,RF-DC 結合形マグネトロンスパッタ法による Mg ターゲットにおける Ar-N_2 ガスの放電特性,電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集,,一般社団法人電子情報通信学会,1997-08-13,1997,2,10,https://cir.nii.ac.jp/crid/1572543027265283840,