著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 仲野 靖孝 and 井村 将隆 and 成田 剛 and 北野 司 and 藤元 直樹 and バラクリッシュナン クリッシュナン and 津田 道信 and 岩谷 素顕 and 上山 智 and 天野 浩 and 赤崎 勇,"高温MOVPE法により作製したELO-AlNの微細構造観察(結晶成長, 評価技術及びデバイス(化合物, Si, SiGe, その他電子材料))","電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス",,一般社団法人電子情報通信学会,2005-05-20,105,90,17-20,https://cir.nii.ac.jp/crid/1572824502216540928,