著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
YASHIMA Jun,Electron-beam mask writer EBM-6000 for 45nm HP node,SPIE,,,2007,6607,,,https://cir.nii.ac.jp/crid/1573105975536045568,