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宮本 光雄 and 石田 彰一 and 後藤 日出人 and 亘 徹 and 溝渕 孝一,ドライエッチング後の微細コンタクトホール内の洗浄技術,"電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス",,一般社団法人電子情報通信学会,1997-04-24,97,22,7-14,https://cir.nii.ac.jp/crid/1573105977189565952,