波面収差のインライン高速計測技術(第6報):DVDレンズの形状誤差とSA3測定精度に関する検討
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収録刊行物
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- 精密工学会大会学術講演会講演論文集
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精密工学会大会学術講演会講演論文集 2002 (1), 751-, 2002-03-01
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1573387449476221312
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- NII論文ID
- 10008501563
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- NII書誌ID
- AN1018673X
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles