著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
竹永 庄悟 and 大屋 昭二 and 井上 健治,仲谷マイクロデバイス(株)新本社工場 : 半導体後工程生産工場における省エネルギー熱源・空調システム,空気調和・衛生工学,03864081,,2008-07-05,82,7,574-575,https://cir.nii.ac.jp/crid/1573668925507433216,