著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
外塚 聖享 and 加藤 正行 and 都田 昌之 and 大見 忠弘,RCA洗浄溶液に生成する活性種の評価,"電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス",,一般社団法人電子情報通信学会,1996-11-14,96,359,71-78,https://cir.nii.ac.jp/crid/1573668927233423488,