URL,博士論文名,著者名,学位授与大学名,学位授与年,学位授与番号,取得学位名,DOI,URL(DOI)
https://cir.nii.ac.jp/crid/1910020910674328192,パワー半導体製造工程における高温熱処理とシリコン結晶欠陥の研究,"中澤, 治雄",横浜国立大学,2014,甲第409号,博士（工学）,,