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Spectroscopic ellipsometry study on optical properties of TiO2 thin films by N2-H2 plasma surface treatment

書誌事項

タイトル
Spectroscopic ellipsometry study on optical properties of TiO2 thin films by N2-H2 plasma surface treatment
著者
S.Tanemura, L.Miao, W.Watanabe, Y.Mori

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詳細情報

  • CRID
    1010000781604937986
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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