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Structural Change in Si Induced by Ion Bombardments and Its Application for Nano-Fabrication

書誌事項

タイトル
Structural Change in Si Induced by Ion Bombardments and Its Application for Nano-Fabrication
著者
T. Motooka, Y. Ikoma, S. Munetoh, X.Q. Chneg, H. Naramoto, K. Narumi, S. Sakai, and Y. Maeda

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詳細情報

  • CRID
    1010000781619777921
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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