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Development of Nanometer Positioning System Driven by Force Operational Water Hydraulic Actuator with Rigid Slide Guide-way, Simulation and Experimental Evaluation of Non-linear Positioning Characteristics

書誌事項

タイトル
Development of Nanometer Positioning System Driven by Force Operational Water Hydraulic Actuator with Rigid Slide Guide-way, Simulation and Experimental Evaluation of Non-linear Positioning Characteristics
著者
Tsukahara, S., et ell

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詳細情報

  • CRID
    1010000781764914049
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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