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Electron Beam Lithography on Organosilane Self-Assembled Monolayer Resist

書誌事項

タイトル
Electron Beam Lithography on Organosilane Self-Assembled Monolayer Resist
著者
T.Tanii, T.Hosaka, T.Miyake, I.Ohdomari

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詳細情報

  • CRID
    1010000781773782920
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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