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A Newly Developed Linear Motor-Driven Aerostatic X-Y Planar Motion Table System for Nano-Machining

書誌事項

タイトル
A Newly Developed Linear Motor-Driven Aerostatic X-Y Planar Motion Table System for Nano-Machining
著者
Shinno, H., Yoshioka, H., Taniguchi, K.

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詳細情報

  • CRID
    1010000781775940997
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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