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X-Y Planar Positioning Table System for Nano-Processing, New Technologies of Machine Tool and Manufacturing-Abstract of Production Engineering Researchers, Joint Event of the 12^<th> International Machine Tool Engineers Conference

書誌事項

タイトル
X-Y Planar Positioning Table System for Nano-Processing, New Technologies of Machine Tool and Manufacturing-Abstract of Production Engineering Researchers, Joint Event of the 12^<th> International Machine Tool Engineers Conference
著者
Yoshioka, H., Ono, Y., Shinno, H.

収録刊行物

  • JMTBA

    JMTBA 54-55, 2006

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詳細情報

  • CRID
    1010000781775941006
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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