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Gas Feed Position Control for High-Quality μc-Si Film Deposition at High Speed in Surface Wave Plasma

書誌事項

タイトル
Gas Feed Position Control for High-Quality μc-Si Film Deposition at High Speed in Surface Wave Plasma
著者
Y.Hotta, T.Okayasu, Y.Takanishi, H.Toyoda, H.Sugai

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詳細情報

  • CRID
    1010000781801248652
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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