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Potential of SiN_x films fabricated by radical-beam deposition technique for passivation of organic devices

書誌事項

タイトル
Potential of SiN_x films fabricated by radical-beam deposition technique for passivation of organic devices
著者
T.Yamao, K.Taguchi, M.Yoshimoto, S.Fujita

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詳細情報

  • CRID
    1010000781801352987
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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