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Amorphous fluorocarbon polymer (a-C:F) films obtained by plasma enhanced chemical vapor deposition from perfluorooctane (C_8F_<18>) vapor I : deposition, morphology, structural and chemical properties

書誌事項

タイトル
Amorphous fluorocarbon polymer (a-C:F) films obtained by plasma enhanced chemical vapor deposition from perfluorooctane (C_8F_<18>) vapor I : deposition, morphology, structural and chemical properties
著者
C.Biloiu, I.A.Biloiu, Y.Sakai, Y.Suda, A.Ohta

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詳細情報

  • CRID
    1010000781805324675
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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