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Effect of surface charging on the erosion rate of polyimide under 5 eV atomic oxygen beam exposures

書誌事項

タイトル
Effect of surface charging on the erosion rate of polyimide under 5 eV atomic oxygen beam exposures
著者
Seikyu S.

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詳細情報

  • CRID
    1010000781813473922
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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