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Infrared spectroscopic study of thermal annealing effects of hydrocarbon species on a Si surface exposed to methane plasma

書誌事項

タイトル
Infrared spectroscopic study of thermal annealing effects of hydrocarbon species on a Si surface exposed to methane plasma
著者
Masanori Shinohara

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詳細情報

  • CRID
    1010000781820657665
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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