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[招待講演] 低温プロセスに向けたマイクロ波加熱処理によるNiGe/Ge接合の形成

書誌事項

タイトル
[招待講演] 低温プロセスに向けたマイクロ波加熱処理によるNiGe/Ge接合の形成
著者
中塚理, 渡部佳優, 鈴木陽洋, 西義雄, 財満鎭明

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詳細情報

  • CRID
    1010000781828892178
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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