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高精度ブラスト加工による微細パターンの形成とバイオチップへの応用

書誌事項

タイトル
高精度ブラスト加工による微細パターンの形成とバイオチップへの応用
著者
安井 剛, 柴田隆行, 牧野英司

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詳細情報

  • CRID
    1010000781871901190
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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