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Pulsed Sputter-Coating of Inside Wall of Narrow Tube by Low-Pressure Micro Plasmas in a Magnetic Field

書誌事項

タイトル
Pulsed Sputter-Coating of Inside Wall of Narrow Tube by Low-Pressure Micro Plasmas in a Magnetic Field
著者
H.Fujiyama, H.Uchida, Y.Nitta, T.Nakatani

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詳細情報

  • CRID
    1010000781874289160
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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