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20 nm Periodical Pattern by Calixarene Resists : Comparison of CMC[4]AOMe with MC[6]AOAc

書誌事項

タイトル
20 nm Periodical Pattern by Calixarene Resists : Comparison of CMC[4]AOMe with MC[6]AOAc
著者
Y.Miyamoto

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詳細情報

  • CRID
    1010000781874902801
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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