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Angular Distribution of Secondary Ions under FIB-Shave-off Condition toward Development of Three-Dimensional Secondary Ion Image System

書誌事項

タイトル
Angular Distribution of Secondary Ions under FIB-Shave-off Condition toward Development of Three-Dimensional Secondary Ion Image System
著者
A. Habib, H. Asakura, M. Furushima, S.-H. Kang, Y. Kim, B. Tomiyasu and M. Owari

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詳細情報

  • CRID
    1010000781898631555
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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