【7/12更新】2022年4月1日からのCiNii ArticlesのCiNii Researchへの統合について

High-yield growth of p-Si microprobe arrays by selective vapo卜liquid-solid method using in situ doping and their properties

書誌事項

タイトル
High-yield growth of p-Si microprobe arrays by selective vapo卜liquid-solid method using in situ doping and their properties
著者
A.Ikedo, N.Funagayama, T.Kawashima, H.Takao, K.Sawada, and M.Ishida

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詳細情報

  • CRID
    1010000781930307364
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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