【2022年1月締切】CiNii ArticlesへのCiNii Researchへの統合に伴う機関認証の移行確認について

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Organic Monolayers Covalently Bonded to Si as Ultra Thin Photoresist Films in Vacuum Ultra-Violet Lithography

書誌事項

タイトル
Organic Monolayers Covalently Bonded to Si as Ultra Thin Photoresist Films in Vacuum Ultra-Violet Lithography
著者
Hiroyuki, Sugimura, Hikaru, Sano, Kyung-Hwang, Lee, Kuniaki, Murase

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詳細情報

  • CRID
    1010000781930384770
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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