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Molecular dynamics simulation analyses on injection angle dependence of SiO_2 sputtering yields by fluorocarbon beams

書誌事項

タイトル
Molecular dynamics simulation analyses on injection angle dependence of SiO_2 sputtering yields by fluorocarbon beams
著者
T.Kawase, S.Hamaguchi

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詳細情報

  • CRID
    1010000781933022594
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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