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Control of nano-step structures on the sapphire wafer surface bv Focused Ion Beam processing

書誌事項

タイトル
Control of nano-step structures on the sapphire wafer surface bv Focused Ion Beam processing
著者
A. Takeuchi, T. Kotaki, M. Yoshimoto, et al.

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詳細情報

  • CRID
    1010000781933966464
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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