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Thermal diffusivity measurement of low-k dielectric thin film by temperature wave analysis

書誌事項

タイトル
Thermal diffusivity measurement of low-k dielectric thin film by temperature wave analysis
著者
J.Morikawa, T.Hashimoto

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詳細情報

  • CRID
    1010000781933992597
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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