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Surface Structure and Chemical Bonding of Polymeric Perfluorocarbon in the Initial Stage of Deposition in Ar/c-C_4F_8 plasmas

書誌事項

タイトル
Surface Structure and Chemical Bonding of Polymeric Perfluorocarbon in the Initial Stage of Deposition in Ar/c-C_4F_8 plasmas
著者
Kenji Furuya et al.

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詳細情報

  • CRID
    1010000781940533897
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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