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イオンミキシング蒸着法によるBN薄膜の作製と特性評価(続報)

書誌事項

タイトル
イオンミキシング蒸着法によるBN薄膜の作製と特性評価(続報)
著者
栗原朗優, 花木 聡, 山下正人, 内田 仁

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詳細情報

  • CRID
    1010000781940946202
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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