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Photosensitive Poly(benzoxazole) Based on Poly(o-hydroxy amide), Dissolution Inhibitor, Thermoacid Generator, and Photoacid Generator

書誌事項

タイトル
Photosensitive Poly(benzoxazole) Based on Poly(o-hydroxy amide), Dissolution Inhibitor, Thermoacid Generator, and Photoacid Generator
著者
T., Ogura, K., Yamaguchi, Y., Shibasaki, M., Ueda

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詳細情報

  • CRID
    1010000781978208147
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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