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Strain relaxation and surface morphology of ultra thin high Ge content SiGe epilayers grown on Si(001) substrate

書誌事項

タイトル
Strain relaxation and surface morphology of ultra thin high Ge content SiGe epilayers grown on Si(001) substrate
著者
M.Myronov, Y.Shiraki

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詳細情報

  • CRID
    1010000781988995077
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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