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Comparative study of plasma-charging damage in high-k dielectric and P-N junction and their effects on off-state leakage current of metal-oxide-semiconductor field-effect transistors

書誌事項

タイトル
Comparative study of plasma-charging damage in high-k dielectric and P-N junction and their effects on off-state leakage current of metal-oxide-semiconductor field-effect transistors
著者
M.Kamei, Y.Takao, K.Eriguchi, K.Ono

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詳細情報

  • CRID
    1010000782035626626
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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