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Characteristics of SiH_4/H_2 VHF Plasma Produced by a Short Gap Discharge

書誌事項

タイトル
Characteristics of SiH_4/H_2 VHF Plasma Produced by a Short Gap Discharge
著者
T.Nishimiya, T.Yamane, S.Nakao, Y.Takeuchi, Y.Yamauchi, H.Takatsuka, H.Muta, K.Uchino, Y.Kawai

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詳細情報

  • CRID
    1010000782044771739
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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