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ナノインプリントにおけるUV硬化樹脂の温度依存性に関する研究

書誌事項

タイトル
ナノインプリントにおけるUV硬化樹脂の温度依存性に関する研究
著者
佐竹信一, 金井高弘, 米本幸弘, 海野徳幸, 谷口淳

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詳細情報

  • CRID
    1010000782045044232
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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