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Influence of sputtering parameters on the crystallinity and crystal orientation of AIN layers deposited by RF sputtering using the AIN target

書誌事項

タイトル
Influence of sputtering parameters on the crystallinity and crystal orientation of AIN layers deposited by RF sputtering using the AIN target
著者
Z.Vashaei

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詳細情報

  • CRID
    1010000782053706639
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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