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Applications of microstructures fabricated by proton beam writing to electric-micro filters

書誌事項

タイトル
Applications of microstructures fabricated by proton beam writing to electric-micro filters
著者
Y.Furuta, H.Nishikawa, T.Satoh, Y.Ishii, T.Kamiya, R.Nakao, S.Uchida

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詳細情報

  • CRID
    1010000782071044636
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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