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Non-contact prove method of ferroelectric property estimation of PbTiO_3 based films for micro electro mechanical systems

書誌事項

タイトル
Non-contact prove method of ferroelectric property estimation of PbTiO_3 based films for micro electro mechanical systems
著者
Yoshitak Ehara, Satoru Utsugi, Mitsumasa Nakajima, Mohamed Tahar, Chentir, Tomokai Yamada, Takashi Iijima, Ken Nishida, Takashi Yamamoto, Hiroshi Funakubo

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詳細情報

  • CRID
    1010000782071450498
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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