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Annealing-temperature Dependence of Compositional Depth Profiles and Chemical Bonding States of CeOx/LaOx/Si and LaOx/CeOx/Si Structure

書誌事項

タイトル
Annealing-temperature Dependence of Compositional Depth Profiles and Chemical Bonding States of CeOx/LaOx/Si and LaOx/CeOx/Si Structure
著者
H.Nohira

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詳細情報

  • CRID
    1010000782080994594
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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