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Lateral Growth of Polycrystalline Silicon-Germanium Thin Films Enhanced by Continuous-Wave Laser Crystallization

書誌事項

タイトル
Lateral Growth of Polycrystalline Silicon-Germanium Thin Films Enhanced by Continuous-Wave Laser Crystallization
著者
Kenta HIROSE, Mitsunori KOBATA, Tadashi SATO, Kuninori KITAHARA, Akito HARA

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詳細情報

  • CRID
    1010000782081415445
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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