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Measurement of interface-state-density distribution near conduction band at interface between atomic-layer-deposited Al2O3 and silicon-doped InAlN

書誌事項

タイトル
Measurement of interface-state-density distribution near conduction band at interface between atomic-layer-deposited Al2O3 and silicon-doped InAlN
著者
M. Akazawa, M. Chiba, and T. Nakano

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詳細情報

  • CRID
    1010000782208906118
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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