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Acid Quantum Efficiency of Anion-bound Chemically Amplified Resists upon Exposure to Extreme Ultraviolet Radiation

書誌事項

タイトル
Acid Quantum Efficiency of Anion-bound Chemically Amplified Resists upon Exposure to Extreme Ultraviolet Radiation
著者
Y. Komuro, D. Kawana, T. Hirayama, K. Ohmori, and T. Kozawa

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詳細情報

  • CRID
    1010000782238418838
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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