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Ultraviolet nanoimprint lithography using cyclodextrin-based porous template for pattern failure reduction

書誌事項

タイトル
Ultraviolet nanoimprint lithography using cyclodextrin-based porous template for pattern failure reduction
著者
Satoshi Takei and Makoto Hanabata

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詳細情報

  • CRID
    1010000782271528961
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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