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OPTIMIZATION OF RE-ENTRANT HYBRID FLOWS WITH MULTIPLE QUEUE TIME CONSTRAINTS IN BATCH PROCESSES OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING

書誌事項

タイトル
OPTIMIZATION OF RE-ENTRANT HYBRID FLOWS WITH MULTIPLE QUEUE TIME CONSTRAINTS IN BATCH PROCESSES OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING
著者
S. Arima, A. Kobayashi1, Y. Monma

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詳細情報

  • CRID
    1010000782275408001
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN
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